Technologie des capteurs capacitifs miniatures

◊ Technologie des capteurs capacitifs miniatures par Silicon Designs : SILICON DESIGNS a développé une technologie d’accéléromètre miniature associant le microusinage et la technologie des circuits intégrés pour produire un accéléromètre capacitif d’une extrême fiabilité. SILICON DESIGNS, en concevant un capteur sur une base nickel a réalisé l’un des premiers succès commerciaux des capteurs MEMS (Micro-ElectroMechanical System). Les premiers capteurs ont été utilisés vers les années 90 pour le déclenchement des airbags individuels et pour des essais industriels ou aéronautiques. Depuis leur conception initiale, nos travaux de recherche constants ont permis d’augmenter la fiabilité, la sensibilité et la robustesse de nos accéléromètres à tel point qu’ils sont actuellement utilisés dans des domaines entièrement nouveaux, tels que la navigation inertielle et les environnements à hautes températures. La technologie actuelle de capteur permet de fabriquer des accéléromètres dont la sensibilité pleine échelle varie de moins d’un g à plus de 20 000 g. Au delà de la gamme d’utilisation standard (de 2 à 1000 g), la plupart de nos capteurs conservent leurs caractéristiques nominales après avoir supporté une exposition à 10 000 g ou une température supérieure à 200 °C.

 

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